所有的氣源（載氣和氧氣）都應(yīng)通過潔凈干燥的銅或不銹鋼管線來輸送。這些管線都應(yīng)經(jīng)過仔細的沖洗和干燥以確保氣體不受污染。清洗新管線時，先用三氯甲烷或三氯乙烷，然后用甲醇或丙酮，zui后用空氣干燥。能夠溶解油或油脂的其他溶劑也可使用。所有溶劑都應(yīng)是試劑級或質(zhì)量更好的溶劑。所有的氣源都應(yīng)是高純氣體，其純度必須達到系統(tǒng)規(guī)定的要求。每一個鋼瓶都需配備一個兩級壓力調(diào)節(jié)器，以使將氣瓶壓力降到所要求的工作壓力。連接好所有的氣體接頭以后，應(yīng)仔細檢查系統(tǒng)有無泄漏，確保氣路系統(tǒng)的完好性。